Tento rok uplynie presne 65 rokov od prvého demonštrovania, že elektróny možno využiť na kreslenie veľmi malých štruktúr s dovtedy nepredstaviteľnou presnosťou. V súčasnosti hrá litografia využívajúca elektrónový lúč nezastupiteľnú úlohu nielen pri výskume a vývoji nových typov súčiastok pre mikro- a nanoelektroniku, ale tiež… pokračuj